Salles blanches avec installations de traitement
Salles blanches avec installations de traitement
La salle blanche de nanotechnologie à l’Institut Paul Scherrer (PSI) est une salle propre de 170 m2 (hybride classe 10/classe 1 000), à l’aménagement professionnel et équipée d’un laboratoire de salle blanche ultra-moderne. Le «laboratoire de traitement» du PSI est une salle semi-blanche d’env. 150 m2 équipée de hottes à flux laminaire dans les zones critiques et avec un environnement de classe 10 000.
Les salles blanches avec équipements de traitement sont utilisées d’une part pour des optiques de guidage de rayons spécialement produites, afin d’améliorer nos prestations d’analyse de rayonnement neutronique et synchrotron. D’autre part, nous proposons des prestations pour l’industrie en appliquant les équipements de traitement décrits ci-dessous.
Nous serons ravis de collaborer avec vous.
Les équipements de salles blanches suivants peuvent être utilisés:
Graveur laser 3D
- Graveur laser direct, 200 mm
- Lithographie sans masque
Photolithographie
- Aligneur de masque 150 mm
- Aligneur de masque 200 mm
- Lithographie par déplacement Talbot
Lithographie par faisceau d’électrons
- Graveur direct par faisceau d’électrons 150 mm
Gravure sèche et humide
- Gravure ionique réactive profonde
- Gravures aux acides et alcalis
Métallisation
- Dépôt physique par phase vapeur (PVD)
- Dépôt de couches atomiques (ALD)
- Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
La manière dont nous collaborons avec vous
Votre
défi
Conseil
compétent
Analyse par rayonnement neutronique et synchrotron & infrastructure sur mesure
Analyse de données et
Interprétation
Rapport
final